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MX8300M 氣體配比單元（GMU）
1. 技術(shù)特點(diǎn)：新一代微機(jī)電（MEMS）技術(shù)，自適應(yīng)信號(hào)處理技術(shù)，數(shù)值仿真技術(shù)設(shè)計(jì)。具有精度高、穩(wěn)定性好、量程比寬、抗干擾、壓損小等特點(diǎn)。
2. 核心功能：流量數(shù)據(jù)采集/處理、記錄/顯示，滿足就地、NB-IOT物聯(lián)遠(yuǎn)程抄表功能, 微小流量漏氣監(jiān)測(cè)報(bào)警，異常大流量監(jiān)測(cè)報(bào)警。具有良好的兼容性和互換性，安裝方便，維護(hù)簡(jiǎn)單。
3. 適用范圍：家用天然氣、人工煤氣、液化氣，油制氣、沼氣。壓力0-0.5Mpa，溫度 -20-80°C。
4. 應(yīng)用場(chǎng)合：住宅/小型商戶的燃?xì)庥?jì)量與安全監(jiān)控。
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產(chǎn)品描述

功能

規(guī)格參數(shù)

訂貨信息

附件

圖表

唯量 MX8300 系列氣體配比單元。利用該單元，用戶通過觸摸屏操作可完成氣體精確配比混合。在適用量程范圍內(nèi)，配比單元的輸出氣體流量和氣體配比率連續(xù)可調(diào)。氣體配比濃度值實(shí)時(shí)顯示(選配)，配比壓力連續(xù)可調(diào)(選配)。采用工業(yè)觸摸屏控制，性能穩(wěn)定，人機(jī)界面友好。支持實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)顯示，歷史數(shù)據(jù)趨勢(shì)，報(bào)表輸出?？蛇x配 RJ45 通訊網(wǎng)口實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)拓展，支持 MODBUS 標(biāo)準(zhǔn)通訊協(xié)議。外殼包括 5U 機(jī)箱，便攜式。

MX8300 系列適用于 (1) 新能源行業(yè)的光伏材料工藝設(shè)備、鋰電材料工藝設(shè)備、氫能燃料電池測(cè)試設(shè)備； (2) 半導(dǎo)體行業(yè)如半導(dǎo)體集成電路工藝設(shè)備、光纖加工設(shè)備，包括擴(kuò)散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入、真空鍍膜、光纖熔煉等生產(chǎn)工藝設(shè)備； (3) 生物醫(yī)藥裝備如醫(yī)療和制藥氣體設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室微反應(yīng)裝置、氣體混合系統(tǒng)。

MX8300 系列氣體配比單元用于二元以及多元?dú)怏w配比。利用多通道高精度氣體流量控制器 MFC 實(shí)現(xiàn)配比，氣體流量控制器 MFC 控制精度在使用范圍內(nèi)不受介質(zhì)壓力和溫度變化的影響。

MX8300 系列氣體配比單元集成了 MEMS 微機(jī)電系統(tǒng)、數(shù)字信號(hào)處理、數(shù)值仿真等先進(jìn)技術(shù)。其特點(diǎn)包括: 高靈敏度、高可靠性、大量程比、壓損小、快速響應(yīng)、無需預(yù)熱、優(yōu)異的零點(diǎn)和溫度穩(wěn)定性、支持小微流量測(cè)量等。

MFC 選用與美國(guó)半導(dǎo)體公司合作研發(fā)的流量傳感元件以及高性能的主控元件，產(chǎn)品生產(chǎn)檢驗(yàn)全過程嚴(yán)格執(zhí)行質(zhì)量控制，保證產(chǎn)品的精度和長(zhǎng)期可靠性。

氣體配比單元結(jié)構(gòu)

MX8300 系列氣體配比單元由質(zhì)量流量控制器 MFC，氣預(yù)處理組件，氣體后處理組件，HMI 控制界面組成。

GMU 信號(hào)處理與控制模塊采用性能優(yōu)良、可靠的元件設(shè)計(jì)制造。集成了先進(jìn)的自適應(yīng)信號(hào)處理與控制算法，有效抑制了測(cè)量數(shù)據(jù)隨機(jī)誤差。這些技術(shù)的應(yīng)用使 GMU 具有響應(yīng)迅速、精度高、穩(wěn)定性好的特點(diǎn)。

流量單位與標(biāo)定

GMU 常用氮?dú)鈽?biāo)定。

流量單位: SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分)；SLPM(標(biāo)準(zhǔn)升/分)

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài): T=273.15K (0℃)；P=101.325kPa (1atm)

F.S. (Full Scale): 滿量程值

適用介質(zhì)參數(shù)

適用介質(zhì): 空氣、氧氣、氮?dú)?、氫氣、氬氣、氦氣?/span>硅烷、氨氣、三氯氧磷、三氟化氮，或其他氣體

氣體壓力: <2.5Mpa

氣體溫度: -20~60°C

流量范圍:

(1) 10, 30, 50, 100, 300, 500SCCM;

(2) 1, 3, 5, 10, 30SLM;

(3) 100, 300, 500, 1200SLM

測(cè)量性能參數(shù)

耐壓: 1.6MPa, 定制耐壓

響應(yīng)時(shí)間: < 20ms

精度: (1) ± 1% F.S., (2) ± 1.5% F.S., (3) ± 2% F.S.

重復(fù) 性: < 0.25% F.S.

靈敏度: < 0.1% F.S.

零漂: < 0.1% F.S.

壓差: <0.2MPa (不同使用環(huán)境有所區(qū)別)

輸入氣體：1 通道 (用于流量計(jì)校準(zhǔn))，2 通道，3 通道，4 通道，5 通道，定制

輸出氣體：1 通道，2 通道，3 通道，4 通道，定制

電氣參數(shù)

電源: DC24V ， AC220V

功耗:

連接: 引線連接

控制與輸出

GMU 匹配工控機(jī)，通過觸摸屏操作實(shí)現(xiàn)氣體精確配比控制。

輸出流量和配比率在適用量程范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào)，氣體配比濃度值實(shí)時(shí)顯示 (選配)，配比壓力連續(xù)可調(diào)(選配)。采用工業(yè)觸摸屏控制，性能穩(wěn)定，人機(jī)界

面友好。支持實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)顯示，歷史數(shù)據(jù)趨勢(shì)，報(bào)表輸出?？蛇x配 RJ45 通訊網(wǎng)口實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)傳輸，可利用USB 接口直接使用 U 盤傳遞數(shù)據(jù)，支持MODBUS標(biāo)準(zhǔn)通訊協(xié)議。安裝方式包括架裝 5U 機(jī)箱，桌面5U 機(jī)箱，手持便攜式。

主控界面